Knowledge base: Warsaw University of Technology

Settings and your account

Back

Interferometer for micro-stepped surfaces measurement

Valentyn Marchenko

Abstract

The aim of the engineering work is to design a compact interferometer for micro-stepped surfaces measurement. The main assumptions of the work are: reaching the measuring field of 10 mm x 10 mm, the possibility of micro-stepped surface measurements up to 10 μm and the compactness of the designed device. The thesis has been divided into six chapters. The first chapter lists the goal, the scope of the thesis and the main theoretical issues. Based on the literature, multispectral interferometry and two methods of its use have been discussed. The main features and methods for analyzing the results have been listed for each method. The second chapter describes the calculations regarding the optical system, the selection of optical elements and the lenses have been designed for the system. The design includes three-order aberrations and chromatic aberration of the lenses, which affects the work with the use of light sources with different wavelengths. Mechanical structure is described in the third and fourth chapters. Mechanisms have been selected and designed to allow the possibility of accurately adjusting the interferometer also were designed the housing of optical parts. In the last part, the process of adjusting the designed interferometer has been described.
Diploma type
Engineer's / Bachelor of Science
Diploma type
Engineer's thesis
Author
Valentyn Marchenko (FM) Valentyn Marchenko,, Faculty of Mechatronics (FM)
Title in Polish
Interferometr do pomiaru mikro-uskoków powierzchni
Supervisor
Leszek Sałbut (FM/IMPh) Leszek Sałbut,, The Institute of Micromechanics and Photonics (FM/IMPh)Faculty of Mechatronics (FM)
Certifying unit
Faculty of Mechatronics (FM)
Affiliation unit
The Institute of Micromechanics and Photonics (FM/IMPh)
Study subject / specialization
, Mechatronika
Language
(pl) Polish
Status
Finished
Defense Date
20-05-2019
Issue date (year)
2019
Reviewers
Leszek Sałbut (FM/IMPh) Leszek Sałbut,, The Institute of Micromechanics and Photonics (FM/IMPh)Faculty of Mechatronics (FM) Leszek Wawrzyniuk (FM/IMPh) Leszek Wawrzyniuk,, The Institute of Micromechanics and Photonics (FM/IMPh)Faculty of Mechatronics (FM)
Keywords in Polish
interferometria laserowa, pomiary kształtu powierzchni
Keywords in English
laser interferometry, surface shape measurements
Abstract in Polish
Celem pracy inżynierskiej jest zaprojektowanie kompaktowego interferometru do pomiaru micro-uskoków powierzchni. Głównymi założeniami pracy są: osiągniecie pola pomiarowego 10 mm x 10 mm, możliwość pomiarów micro-uskoków do 10 µm oraz kompaktowość zaprojektowanego urządzenia. Praca została podzielona na 6 rozdziałów. W pierwszym rozdziale zostały wymienione cel, zakres pracy oraz główne zagadnienia teoretyczne. Na podstawie literatury została omówiona interferometria multispektralna oraz dwie metody jej wykorzystania. Dla każdej metody zostały wymienione główne cechy oraz sposoby analizy wyników. W drugim rozdziale zostały opisane obliczenia dotyczące układu optycznego, dobór elementów optycznych oraz zostały zaprojektowane soczewki do układu. Przy projektowaniu zostały uwzględnione aberracje 3-go rzędu oraz aberracja chromatyczna soczewek, która ma wpływ na prace z wykorzystaniem źródeł światła o różnych długościach fali. W trzecim i czwartym rozdziałach została opisana budowa mechaniczna. Zostały dobrane oraz zaprojektowane mechanizmy zapełniające możliwość dokładnego justowania interferometru oraz obudowy części optycznych. W ostatniej części został umówiony proces justowania zaprojektowanego interferometru.
File
  • File: 1
    MT_1st_265108.pdf
Request a WCAG compliant version
Local fields
Identyfikator pracy APD: 31912

Uniform Resource Identifier
https://repo.pw.edu.pl/info/bachelor/WUT53c8b3ad82684e22bc0a70d90fe6243e/
URN
urn:pw-repo:WUT53c8b3ad82684e22bc0a70d90fe6243e

Confirmation
Are you sure?
Report incorrect data on this page