Wykorzystanie trawienia azotku glinu (AlN) w technologii tranzystora MISFET

Bartłomiej Stonio , Piotr Firek , Jan Szmidt

Abstract

MN-p-6:Azotki metali grupy III, do których należy Azotek Glinu (AlN) w ostatnich czasach przykuły uwagę ze względu na swoje właściwości optyczne i elektroniczne. Związek ten charakteryzuje się szeroką przerwą zabronioną (6,2 eV)[1], duża stabilnością termiczną, wysokim współczynnikiem załamania światła. Względna przenikalność elektryczna wynoszącą około 9 [2] Ponadto warstwa ta charakteryzuje się rozszerzalnością cieplną podobna do krzemu [1]. Dodatkowo do syntezy azotku glinu może zostać użyta metoda magnetronowego rozpylania jonowego [2], która posiada zalety takie jak wysoka powtarzalność procesu, możliwość wytwarzania powłok na dużych powierzchniach na skalę przemysłową czy niska temperatura procesu osadzania Takie właściwości, oraz łatwy sposób wytwarzania warstwy, w relatywnie niskich temperaturach, sprawiają że związek ten znajduje coraz większe zastosowanie w szerokim polu aplikacji. Jednym z takich przykładów jest zastosowanie warstwy AlN jako dielektryk bramkowy w strukturach MISFET (metal–insulation–semiconductor field-effect transistor) oraz ISFET (Ion-Sensitive Field Effect Transistor).
Author Bartłomiej Stonio IMiO
Bartłomiej Stonio,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Piotr Firek IMiO
Piotr Firek,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Jan Szmidt IMiO
Jan Szmidt,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
Pages1-2
Publication size in sheets0.3
Book Wiśniowski Piotr (eds.): Materiały Konferencyjne: XII Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2016, vol. PenDrive, 2016, Katedra Elektroniki, Wydział Informatyki Elektroniki i Telekomunikacji Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica, 226 p.
Keywords in Polishtrawienie AlN, cienkie warstwy, azotek glinu, ISFET
projectThe Development of Design, Processing and Testing Methods of the Electronic Devices and Materials for Microelectronics and Optoelectronics. Project leader: Szczepański Paweł, , Phone: (48 22) 234 58 70, start date 01-01-2015, planned end date 31-12-2015, end date 31-05-2016, IMiO/2015/STATUT/1, Implemented
WEiTI Działalność statutowa
Languagepl polski
Score (nominal)15
ScoreMinisterial score = 15.0, 27-03-2017, BookChapterMatConfByIndicator
Ministerial score (2013-2016) = 15.0, 27-03-2017, BookChapterMatConfByIndicator
Citation count*0
Cite
Share Share



* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back