Wytwarzanie tranzystora ISFET z zastosowaniem TiO2 w roli dielektryka bramkowego

Maciej Kamiński , Piotr Firek

Abstract

MN-p-29: Tranzystor ISFET może być wykorzystany jako wysokoczuły sensor jonów wodoru w gazie, pH płynów, stężenia innych jonów, a zastosowanie go w skali mikro umożliwia precyzyjne pomiary elektrofizjologiczne in vivo w medycynie. Aktualnie zintegrowane z innymi sensorami matryce ISFET są wykorzystywane między innymi do badań nad powielaniem komórek raka [1]. Dwutlenek tytanu ze względu na swoje właściwości: nietoksyczność, wysoką stabilność chemiczną oraz wysoki współczynnik przenikalności elektrycznej jest interesującym materiałem z punktu widzenia aplikacji związanych z tranzystorami MIS. W pracy przedstawiono technologię wytworzenia oraz charakteryzację tranzystora jonoczułego z zastosowaniem TiO2 w roli dielektryka bramkowego.
Author Maciej Kamiński IMiO
Maciej Kamiński,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Piotr Firek IMiO
Piotr Firek,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
Pages1-2
Publication size in sheets0.3
Book Wiśniowski Piotr (eds.): Materiały Konferencyjne: XII Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2016, vol. PenDrive, 2016, Katedra Elektroniki, Wydział Informatyki Elektroniki i Telekomunikacji Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica, 226 p.
Keywords in PolishISFET, TiO2, trawienie RIE, tranzystor jonoczuły
projectThe Development of Design, Processing and Testing Methods of the Electronic Devices and Materials for Microelectronics and Optoelectronics. Project leader: Szczepański Paweł, , Phone: (48 22) 234 58 70, start date 01-01-2015, planned end date 31-12-2015, end date 31-05-2016, IMiO/2015/STATUT/1, Implemented
WEiTI Działalność statutowa
Highly sensitive ISFET matrix transistors with functional dielectrics on new generation . Project leader: Firek Piotr, , Phone: (+48) 22 234 79 32, application date 27-07-2010, start date 18-04-2011, end date 17-04-2014, IMiO/2010/MNSW/4, Completed
WEiTI Projekty finansowane przez MNiSW
Languagepl polski
Score (nominal)15
ScoreMinisterial score = 15.0, 27-03-2017, BookChapterMatConfByIndicator
Ministerial score (2013-2016) = 15.0, 27-03-2017, BookChapterMatConfByIndicator
Citation count*0
Cite
Share Share

Get link to the record
msginfo.png


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back