Technologia i charakteryzacja mikrogrzejników planarnych do klasyfikacji parametrów cieczy o nanolitrowej objętości

Andrzej Kociubiński , Mateusz Gęca , Michał Borecki

Abstract

MA-p-6:W ostatnich latach liczba zastosowań mikrogrzejników rezystancyjnych znacząco wzrosła ze względu na ich kluczową rolę w aplikacjach czujnikowych. Mikrogrzejniki umożliwiają lokalne podgrzewanie próbki cieczy lub gazu. Głównymi zaletami mikrogrzejników stosowanych w układach czujników jest niski pobór mocy oraz krótki czas odpowiedzi. Czujniki gazu z mikrogrzejnikami wykonywane są w technologii MEMS [1], a czujniki parametrów cieczy w technologii kapilarnej [2]. Technologia kapilarna umożliwia wieloparametryczną klasyfikację próbek cieczy o nanolitrowej objętości. W analizowanym klasyfikatorze/sensorze mikrogrzejnik, stanowi kluczowy element głowicy wprowadzający kontrolowane dynamiczne warunki pomiaru parametrów próbki. Ciecz umieszczona w kapilarze najczęściej jest podgrzewana do momentu utworzenia bąbla par własnych, będącego efektem zmiany stanu skupienia próbki lub reakcji chemicznych [2]. W ramach niniejszej pracy przeprowadzono badania mikrogrzejników wykorzystujących węglik krzemu (SiC), tytan (Ti), pastę rezystywną oraz chromonikielinę (NiCr) jako warstwę grzejną [1-3].
Author Andrzej Kociubiński
Andrzej Kociubiński,,
-
, Mateusz Gęca
Mateusz Gęca,,
-
, Michał Borecki IMiO
Michał Borecki,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
Pages1-2
Publication size in sheets0.3
Book Wiśniowski Piotr (eds.): Materiały Konferencyjne: XII Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2016, vol. PenDrive, 2016, Katedra Elektroniki, Wydział Informatyki Elektroniki i Telekomunikacji Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica, 226 p.
Keywords in Polishmikrogrzejnik rezystancyjny, NiCr, SiC, czujnik kapilarny
Languagepl polski
Score (nominal)15
ScoreMinisterial score = 15.0, 27-03-2017, BookChapterMatConfByIndicator
Ministerial score (2013-2016) = 15.0, 27-03-2017, BookChapterMatConfByIndicator
Citation count*0
Cite
Share Share



* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back