Charakteryzacja cienkich warstw TiO2 wytworzonych w procesie rozpylania magnetronowego

Maciej Kamiński , Piotr Firek , Piotr Caban

Abstract

MA-o-6:Coraz częstsze wykorzystanie tlenku tytanu, wiąże się z tym, że posiada on bardzo interesujące właściwości. Jest to materiał nietoksyczny i stabilny chemicznie. TiO2 charakteryzuje się przerwą energetyczną o szerokości 3-3,2 eV, wysokim współczynnikiem załamania światła o zakresie 2,4-2,9 oraz wykazuje dużą odporność chemiczną. Właściwości fotoelektrochemiczne TiO2 związane są z absorpcją promieniowania, wysoką w zakresie UV i relatywnie niską w zakresie widzialnym, co ma zasadnicze znaczenie w ogniwach słonecznych oraz w fotorozkładzie wody. Połączenie wspomnianych właściwości z faktem, iż materiał ten należy do grupy dielektryków o wysokiej przenikalności elektrycznej (high-k) czyni go bardzo interesującym z punktu widzenia aplikacji związanych z tranzystorami MIS. W pracy przedstawiono technologię wytworzenia i charakteryzację warstw dwutlenku tytanu.
Author Maciej Kamiński IMiO
Maciej Kamiński,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Piotr Firek IMiO
Piotr Firek,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Piotr Caban
Piotr Caban,,
-
Pages1-2
Publication size in sheets0.3
Book Wiśniowski Piotr (eds.): Materiały Konferencyjne: XII Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2016, vol. PenDrive, 2016, Katedra Elektroniki, Wydział Informatyki Elektroniki i Telekomunikacji Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica, 226 p.
Keywords in PolishTiO2, dwutlenek tytanu, rozpylanie magnetronowe
projectThe Development of Design, Processing and Testing Methods of the Electronic Devices and Materials for Microelectronics and Optoelectronics. Project leader: Szczepański Paweł, , Phone: (48 22) 234 58 70, start date 01-01-2015, planned end date 31-12-2015, end date 31-05-2016, IMiO/2015/STATUT/1, Implemented
WEiTI Działalność statutowa
Highly sensitive ISFET matrix transistors with functional dielectrics on new generation . Project leader: Firek Piotr, , Phone: (+48) 22 234 79 32, application date 27-07-2010, start date 18-04-2011, end date 17-04-2014, IMiO/2010/MNSW/4, Completed
WEiTI Projekty finansowane przez MNiSW
Languagepl polski
Score (nominal)15
ScoreMinisterial score = 15.0, 27-03-2017, BookChapterMatConfByIndicator
Ministerial score (2013-2016) = 15.0, 27-03-2017, BookChapterMatConfByIndicator
Citation count*0
Cite
Share Share



* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back