Wpływ parametrów pracy magnetronu na warunki nanoszenia cienkich warstw podczas procesu rozpylania

W. Posadowski , A. Wiatrowski , K. Tadaszak , M. Gruszka , Krzysztof Zdunek

Abstract

n/a
Author W. Posadowski
W. Posadowski,,
-
, A. Wiatrowski
A. Wiatrowski,,
-
, K. Tadaszak
K. Tadaszak,,
-
, M. Gruszka
M. Gruszka,,
-
, Krzysztof Zdunek (FMSE / DSE)
Krzysztof Zdunek,,
- Division of Surface Engineering
Journal seriesElektronika - konstrukcje, technologie, zastosowania, ISSN 0033-2089, (B 6 pkt)
Issue year2011
No11
Pages45
Projectxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxx. Project leader: Zdunek Krzysztof, start date 01-11-2010, planned end date 31-12-2013, end date 01-03-2014, NR15-0002-10 /2010, Completed
WIM Projekty finansowane przez MNiSW
Languagepl polski
Score (nominal)6
Score sourcejournalList
Citation count*1 (2015-05-04)
Cite
Share Share

Get link to the record


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back
Confirmation
Are you sure?