Wytwarzanie i charakteryzacja cienkich warstw HfOxNy

Piotr Wysokiński , Piotr Firek , Małgorzata Kalisz , Robert Paweł Mroczyński , Agnieszka Szymańska , Jan Szmidt

Abstract

Warstwy tlenkoazotku hafnu osadzono techniką rozpylania magnetronowego. Przeprowadzone procesy wykonano w oparciu o metode minimalizacji eksperymentów w oparciu o tablice ortogonalne. Przeprowadzona została charakteryzacja elektro�fizyczna, która pozwoliła zde�finiować parametry procesu osadzania warstw o szczególnie korzystnych parametrach.
Author Piotr Wysokiński (FEIT / MO)
Piotr Wysokiński,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Piotr Firek (FEIT / MO)
Piotr Firek,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Małgorzata Kalisz - Instytut Transportu Samochodowego
Małgorzata Kalisz,,
-
, Robert Paweł Mroczyński (FEIT / MO)
Robert Paweł Mroczyński,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Agnieszka Szymańska (FEIT / MO)
Agnieszka Szymańska,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Jan Szmidt (FEIT / MO)
Jan Szmidt,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
Pages373-374
Book Kisiel Ryszard (eds.): XI Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2013, 2013, ul. Koszykowa 75, 00-662 Warszawa, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki, ISBN 978-83-64102-00-4, 476 p.
URL http://elte.imio.pw.edu.pl/files/program_szczegolowy_elte2013.pdf
Languagepl polski
Score (nominal)15
ScoreMinisterial score = 10.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Ministerial score (2013-2016) = 15.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Citation count*
Cite
Share Share

Get link to the record


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back
Confirmation
Are you sure?