Warstwy tytanianu baru wytwarzane na krzemie techniką ablacji spiekanego targetu w plazmie impulsowej

Aleksander Werbowy , Piotr Firek , Norbert Kwietniewski , Andrzej Olszyna

Abstract

Cienkie (ok. 100 nm) nanokrystaliczne warstwy domieszkowanego lantanem tytanianu baru wytworzono na podłożach krzemowych techniką ablacji targetu BaTiO3 + La2O3 w plazmie impulsowej. Otrzymany materiał jest litą ceramiką o bardzo niskiej chropowatości (Ra = 2,045 nm) i względnie małej upływności (nawet rzędu 10–12 A cm–2) oraz względnej przenikalności εr rzędu 20.
Author Aleksander Werbowy (FEIT / MO)
Aleksander Werbowy,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Piotr Firek (FEIT / MO)
Piotr Firek,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Norbert Kwietniewski (FEIT / MO)
Norbert Kwietniewski,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Andrzej Olszyna (FMSE / DSMP)
Andrzej Olszyna,,
- Division of Ceramic Materials and Polymers
Pages353-354
Book Kisiel Ryszard (eds.): XI Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2013, 2013, ul. Koszykowa 75, 00-662 Warszawa, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki, ISBN 978-83-64102-00-4, 476 p.
URL http://elte.imio.pw.edu.pl/files/program_szczegolowy_elte2013.pdf
Languagepl polski
Score (nominal)15
ScoreMinisterial score = 10.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Ministerial score (2013-2016) = 15.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Citation count*
Cite
Share Share

Get link to the record


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back
Confirmation
Are you sure?