Nowa testowa struktura laserowa SOI z krzemowym falowodem grzbietowym i wbudowaną diodą P+-i-N+ pompowana optycznie

Robert Paweł Mroczyński , Andrzej Sierakowski , Agnieszka Mossakowska-Wyszyńska , Anna Tyszka-Zawadzka , Ryszard Piramidowicz , Michał Malinowski , Paweł Szczepański , Romuald Beck

Abstract

W ramach niniejszej pracy zaprojektowano topografię nowego typu struktury laserowej SOI z krzemowym falowodem grzbietowym i wbudowaną diodą P-i-N pompowanej optycznie. Zestaw masek składa się z sześciu poziomów masek fotolitogra�icznych i charakteryzuje się wymiarem krytycznym ~2 μm.
Author Robert Paweł Mroczyński (FEIT / MO)
Robert Paweł Mroczyński,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Andrzej Sierakowski
Andrzej Sierakowski,,
-
, Agnieszka Mossakowska-Wyszyńska (FEIT / MO)
Agnieszka Mossakowska-Wyszyńska,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Anna Tyszka-Zawadzka (FEIT / MO)
Anna Tyszka-Zawadzka,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Ryszard Piramidowicz (FEIT / MO)
Ryszard Piramidowicz,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Michał Malinowski (FEIT / MO)
Michał Malinowski,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Paweł Szczepański (FEIT / MO)
Paweł Szczepański,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Romuald Beck (FEIT / MO)
Romuald Beck,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
Pages267-268
Book Kisiel Ryszard (eds.): XI Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2013, 2013, ul. Koszykowa 75, 00-662 Warszawa, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki, ISBN 978-83-64102-00-4, 476 p.
URL http://elte.imio.pw.edu.pl/files/program_szczegolowy_elte2013.pdf
Languagepl polski
File
ELTE_2013_FO p-27.pdf 1.16 MB
Score (nominal)15
ScoreMinisterial score = 10.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Ministerial score (2013-2016) = 15.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Citation count*
Cite
Share Share

Get link to the record


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back
Confirmation
Are you sure?