Technologia plazmowego osadzania azotku krzemu (SiNx) na potrzeby czujników światłowodowych z punktu widzenia symetrii ich pokrycia

Adrian Krysiński , Mateusz Jakub Śmietana , Robert Paweł Mroczyński , Norbert Kwietniewski , Wojtek J. Bock , Predrag Mikulic

Abstract

Prezentowane są wyniki eksperymentu, którego celem było zbadanie wpływu niejednorodności pokrycia siatki LPG warstwą SiNx na zachowanie jej odpowiedzi spektralnej. Pomiary wykazały znaczną poprawę czułości na zmiany n dla siatek, które podczas procesu osadzania RF PECVD były oddalone od elektrody w reaktorze.
Author Adrian Krysiński
Adrian Krysiński,,
-
, Mateusz Jakub Śmietana (FEIT / MO)
Mateusz Jakub Śmietana,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Robert Paweł Mroczyński (FEIT / MO)
Robert Paweł Mroczyński,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Norbert Kwietniewski (FEIT / MO)
Norbert Kwietniewski,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Wojtek J. Bock
Wojtek J. Bock,,
-
, Predrag Mikulic
Predrag Mikulic,,
-
Pages243-244
Book Kisiel Ryszard (eds.): XI Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2013, 2013, ul. Koszykowa 75, 00-662 Warszawa, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki, ISBN 978-83-64102-00-4, 476 p.
URL http://elte.imio.pw.edu.pl/files/program_szczegolowy_elte2013.pdf
Languagepl polski
Score (nominal)15
ScoreMinisterial score = 10.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Ministerial score (2013-2016) = 15.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Citation count*
Cite
Share Share

Get link to the record


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back
Confirmation
Are you sure?