Technologia i charakteryzacja złączy p-i-n z węglika krzemu

Mariusz Duk , Andrzej Kociubiński , Norbert Kwietniewski , Mariusz Sochacki , Michał Borecki , Jan Szmidt

Abstract

Celem niniejszej pracy było opracowanie i optymalizacja technologii do wytworzenia złączy p-i-n pracujących jako detektory promieniowania. W pracy przedstawiono projekt i sposób wykonania różnorodnych struktur testowych z węglika krzemu oraz wyniki ich charakteryzacji.
Author Mariusz Duk
Mariusz Duk,,
-
, Andrzej Kociubiński
Andrzej Kociubiński,,
-
, Norbert Kwietniewski (FEIT / MO)
Norbert Kwietniewski,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Mariusz Sochacki (FEIT / MO)
Mariusz Sochacki,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Michał Borecki (FEIT / MO)
Michał Borecki,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Jan Szmidt (FEIT / MO)
Jan Szmidt,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
Pages185-186
Book Kisiel Ryszard (eds.): XI Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2013, 2013, ul. Koszykowa 75, 00-662 Warszawa, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki, ISBN 978-83-64102-00-4, 476 p.
URL http://elte.imio.pw.edu.pl/files/program_szczegolowy_elte2013.pdf
Languagepl polski
Score (nominal)15
ScoreMinisterial score = 10.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Ministerial score (2013-2016) = 15.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Citation count*
Cite
Share Share

Get link to the record


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back
Confirmation
Are you sure?