Nanostruktury w elektronice cienkowarstwowej

Andrzej Kołodziej , Lidia Łukasiak , Michał Kołodziej , Andrzej Jakubowski

Abstract

W tym przeglądzie pokazujemy (na podstawie literatury i wyników własnych), że istnieje realna możliwość takiego przygotowania i powtarzalnego kontrolowania technologii wytwarzania nano - struktur, że można je wstawiać w odpowiednim miejscu wielu przyrządów wytwarzanych w przemysłowym procesie CMOS, a dodatki takie mogą polepszyć działanie tych przyrządów.
Author Andrzej Kołodziej
Andrzej Kołodziej,,
-
, Lidia Łukasiak (FEIT / MO)
Lidia Łukasiak,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Michał Kołodziej - AGH University of Science and Technology (AGH)
Michał Kołodziej,,
-
, Andrzej Jakubowski (FEIT / MO)
Andrzej Jakubowski,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
Pages31-32
Publication size in sheets0.3
Book Kisiel Ryszard (eds.): XI Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2013, 2013, ul. Koszykowa 75, 00-662 Warszawa, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki, ISBN 978-83-64102-00-4, 476 p.
URL http://elte.imio.pw.edu.pl/files/program_szczegolowy_elte2013.pdf
Languagepl polski
Score (nominal)15
Score sourceconferenceIndex
ScoreMinisterial score = 10.0, 07-01-2020, BookChapterMatConfByIndicator
Ministerial score (2013-2016) = 15.0, 07-01-2020, BookChapterMatConfByIndicator
Citation count*
Cite
Share Share

Get link to the record


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back
Confirmation
Are you sure?