Digital holographic microscope for measurement of high gradient deep topography object based on super-resolution concept

Kamil Liżewski , Tomasz Kozacki , Julianna Kostencka

Abstract

A novel concept based on super-resolution technique that enables the measurement of high gradient and deep topography objects using digital holographic (DH) microscopy is introduced. Major problem of DH systems is limited NA that prohibits the metrological characterization of object features of high frequencies. The proposed technique has the ability to extend spatial frequency spectrum of the measured topography by applying multi-directional plane wave illumination, which is experimentally realized with a grating. The technique recovers sample topography from the set of object waves with different object spectra that are converted into a set of topographies by using algorithm, which takes into account refraction.
Author Kamil Liżewski (FM / IMPh)
Kamil Liżewski,,
- The Institute of Micromechanics and Photonics
, Tomasz Kozacki (FM / IMPh)
Tomasz Kozacki,,
- The Institute of Micromechanics and Photonics
, Julianna Kostencka (FM / IMPh)
Julianna Kostencka,,
- The Institute of Micromechanics and Photonics
Journal seriesOptics Letters, ISSN 0146-9592
Issue year2013
Vol38
No11
Pages1878-1880
Keywords in PolishCyfrowa mikroskopia holograficzna, super- rozdzielczość, pomiar kształtu mikro-obiektów
Keywords in EnglishDigital holographic microscope, superresolution, shape measurement
ASJC Classification3107 Atomic and Molecular Physics, and Optics
Abstract in PolishArtykuł przedstawia nowatorską koncepcję bazującą na technice super-rozdzielczości do pomiarów kształtu mikro-obiektów o wysokim gradiencie w cyfrowym mikroskopie holograficznym. Głównym problemem mikroskopii holograficznej jest ograniczona apertura numeryczna (NA) układu obrazującego uniemożliwiająca charakteryzację obiektów cechujących się wysokimi częstotliwościami. Proponowana metoda pozwala rozszerzyć rejestrowane widmo częstości przestrzennych i tym samym zmierzyć mikro-obiekty poprzez zastosowanie wielokierunkowego oświetlenia falą płaską, realizowanego poprzez zastosowanie siatki dyfrakcyjnej. Technika odzyskuje topografię obiektów z zestawu fal obiektowych o różnych częstościach przestrzennych za pomocą algorytmu uwzględniającego refrakcję.
DOIDOI:10.1364/OL.38.001878
Languageen angielski
Score (nominal)45
Score sourcejournalList
ScoreMinisterial score = 45.0, 02-04-2020, ArticleFromJournal
Ministerial score (2013-2016) = 45.0, 02-04-2020, ArticleFromJournal
Publication indicators WoS Citations = 8; GS Citations = 12.0; Scopus SNIP (Source Normalised Impact per Paper): 2013 = 2.058; WoS Impact Factor: 2013 = 3.179 (2) - 2013=3.119 (5)
Citation count*12 (2020-08-21)
Cite
Share Share

Get link to the record


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back
Confirmation
Are you sure?