Charakteryzacja cienkich warstw Gd2O3 wytworzonych magnetronowo

Jacek Gryglewicz , Piotr Firek , Jakub Maciej Jasiński , Robert Paweł Mroczyński , Jan Szmidt

Abstract

Charakteryzacja elektrofizyczna cienkich warstw Gd2O3. Warstwy zostały naniesione metodą rozpylania magnetronowego. Procesy zaplanowano przy pomocy metody minimalizacji eksperymentów Taguchiego.
Author Jacek Gryglewicz
Jacek Gryglewicz ,,
-
, Piotr Firek (FEIT / MO)
Piotr Firek,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Jakub Maciej Jasiński (FEIT / MO)
Jakub Maciej Jasiński,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Robert Paweł Mroczyński (FEIT / MO)
Robert Paweł Mroczyński,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Jan Szmidt (FEIT / MO)
Jan Szmidt,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
Pages369-370
Book Kisiel Ryszard (eds.): XI Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2013, 2013, ul. Koszykowa 75, 00-662 Warszawa, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki, ISBN 978-83-64102-00-4, 476 p.
URL http://elte.imio.pw.edu.pl/files/program_szczegolowy_elte2013.pdf
Languagepl polski
Score (nominal)15
ScoreMinisterial score = 10.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Ministerial score (2013-2016) = 15.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Citation count*
Cite
Share Share

Get link to the record


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back
Confirmation
Are you sure?