Wytwarzanie cienkich warstw azotku tytanu metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego

Jerzy Kalenik , Piotr Firek , Jan Szmidt

Abstract

W pracy przedstawiono wytwarzanie cienkich warstw azotku tytanu. Wskazane zostały optymalne parametry procesu reaktywnego rozpylania magnetronowego pod względem uzyskania warstwy o jak najlepszym przewodnictwie. Wyznaczony został również wpływ parametrów tego procesu na grubość i chropowatość uzyskiwanej warstwy.
Author Jerzy Kalenik (FEIT / MO)
Jerzy Kalenik,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Piotr Firek (FEIT / MO)
Piotr Firek,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Jan Szmidt (FEIT / MO)
Jan Szmidt,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
Pages449-450
Book Kisiel Ryszard (eds.): XI Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2013, 2013, ul. Koszykowa 75, 00-662 Warszawa, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki, ISBN 978-83-64102-00-4, 476 p.
URL http://elte.imio.pw.edu.pl/files/program_szczegolowy_elte2013.pdf
Languagepl polski
Score (nominal)15
ScoreMinisterial score = 10.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Ministerial score (2013-2016) = 15.0, 25-09-2019, BookChapterMatConfByIndicator
Citation count*
Cite
Share Share

Get link to the record


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back
Confirmation
Are you sure?