Strömungsleitwert der dünnen Blende

W. Jitschin , S. Khodabakhshi , Piotr Szwemin

Abstract

Der Strömungsleitwert einer dünnen Kreisblende mit 1,2 mm Nenndurchmesser wurde für 8 Gase bei Eingangsdrücken von 10−3 bis 103 mbar und vernachlässigbar kleinen Ausgangsdrücken vermessen. Die Meßwerte umfassen somit die verschiedenen Strömungsbereiche von molekular bis viskos. Zum Vergleich der Daten für verschiedene Gase wurden diese skaliert: der Druck nach der inversen Knudsenzahl und der Leitwert nach dem Leitwert bei Molekularströmung. Es zeigt sich, daß der Übergang von molekularer zu viskoser Strömung lediglich näherungsweise mit der inversen Knudsenzahl skaliert. Die Daten im viskosen Bereich entsprechen den Vorhersagen für gasdynamische Strömung, wenn die Kontraktion des Strömungsquerschnitts berücksichtigt wird. Bei Knudsenzahlen Kn ≈ 1/100 ergibt sich ein Maximum des Strömungsleitwerts, dessen Verlauf von der Gasart abhängt.
Author W. Jitschin
W. Jitschin,,
-
, S. Khodabakhshi
S. Khodabakhshi,,
-
, Piotr Szwemin IMiO
Piotr Szwemin,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
Journal seriesVakuum in Forschung und Praxis, ISSN 1522-2454
Issue year1998
Vol10
No4
Pages316–320
DOIDOI:10.1002/vipr.19980100414
URL http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/vipr.19980100414/abstract
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