Ultra-płytka implantacja fluoru z plazmy w.cz. jako metoda poprawy właściwości elektro-fizycznych struktur MIS z dielektrykami bramkowymi wytwarzanymi metodą PECVD

Małgorzata Kalisz , Robert Paweł Mroczyński , Romuald Beck

Abstract

n/a
Author Małgorzata Kalisz - Instytut Transportu Samochodowego
Małgorzata Kalisz,,
-
, Robert Paweł Mroczyński (FEIT / MO)
Robert Paweł Mroczyński,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Romuald Beck (FEIT / MO)
Romuald Beck,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
Journal seriesElektronika- konstrukcje, technologie, zastosowania, ISSN 0033-2089, [], (B 6 pkt)
Issue year2011
Vol0
No2
Pages20-26
URL http://www.sigma-not.pl
Languagepl polski
Score (nominal)6
Citation count*
Cite
Share Share

Get link to the record


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back
Confirmation
Are you sure?