Wpływ procesu wygrzewania wysokotemperaturowego na parametry elektryczne struktury MOS Al/SiO2/n-4H-SiC (0001)

Małgorzata Kalisz , Krystian Bogumił Król , Mariusz Sochacki , Jan Szmidt

Abstract

n/a
Author Małgorzata Kalisz - Instytut Transportu Samochodowego
Małgorzata Kalisz,,
-
, Krystian Bogumił Król (FEIT / MO)
Krystian Bogumił Król,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Mariusz Sochacki (FEIT / MO)
Mariusz Sochacki,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
, Jan Szmidt (FEIT / MO)
Jan Szmidt,,
- The Institute of Microelectronics and Optoelectronics
Journal seriesElektronika- konstrukcje, technologie, zastosowania, ISSN 0033-2089, [], (B 6 pkt)
Issue year2011
Vol52
No9
Pages121-124
URL http://www.sigma-not.pl
Languagepl polski
Score (nominal)6
Citation count*
Cite
Share Share

Get link to the record


* presented citation count is obtained through Internet information analysis and it is close to the number calculated by the Publish or Perish system.
Back
Confirmation
Are you sure?